Irida - кластерная вакуумная установка

Irida - серия кластерного вакуумного оборудования на основе уникального источника энергосберегающего источника плазмы высокой плотности, которая реализует процессы вакуумного ионно-плазменного нанесения, травления и очистки изделия.
Разработанная кластерная установка с тремя процессными модулями на основе масштабируемого и энергосберегающего источника ПВП используется для реализации следующих процессов:
- нанесение различных покрытий, функциональных слоев и тонкопленочных структур с заданными (регулируемыми) физико-химическими свойствами;
- очистка, модификация и имплантация поверхности различных материалов с целью придания им требуемых физико-химических свойств;
- высокоразрешающее (с субстананометровым разрешением) травление и проявление различных материалов в маршрутах современной фотолитографии и наноимпринт литографии;
- глубокое реактивное ионное травление в маршрутах микро- и наноприборов с трехмерной интеграцией.